基于SE技術(shù)的硼擴(kuò)散和氧化退火工藝研究

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摘 要：主要探究了關(guān)于N-TOPCon電池應(yīng)用于選擇性發(fā)射極（SE）技術(shù)中的硼擴(kuò)散和氧化退火工藝。通過設(shè)定實(shí)驗(yàn)變量，包括無氧推進(jìn)過程及其所處的硼擴(kuò)散和氧化退火工藝階段，進(jìn)行了方阻、ECV和鈍化方面測(cè)試驗(yàn)證。在氧化退火工藝中，低溫氧氣注入（860 ℃）能夠改善整個(gè)非SE區(qū)域方阻的均勻性，延長(zhǎng)升溫?zé)o氧推進(jìn)過程會(huì)降低方阻的均勻度；利用氧化硅和硅對(duì)于硼原子的不同擴(kuò)散系數(shù)，低溫氧氣注入可以有效抑制硼原子的劇烈擴(kuò)散，改善方阻均勻度。（剩余5109字）