半導(dǎo)體設(shè)備預(yù)測性維修技術(shù)的運用探究

摘要：在半導(dǎo)體生產(chǎn)制造中，設(shè)備的故障診斷與維護是一個重要環(huán)節(jié)，其影響因素眾多，例如工藝、設(shè)備、環(huán)境等。有研究表明，設(shè)備故障的95%～100%發(fā)生在生產(chǎn)運行中，只有5%～15%發(fā)生在設(shè)備運行前。可見，設(shè)備故障具有突發(fā)性，對生產(chǎn)影響極大。 預(yù)測性維修技術(shù)的核心是通過監(jiān)測、診斷、評估等手段獲取設(shè)備的狀態(tài)信息，以避免或減少設(shè)備故障帶來的損失。（剩余5982字）