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[摘 要] 課程依托機(jī)械工程相關(guān)專業(yè)的專業(yè)選修課——“集成電路制造工藝與裝備”的教學(xué)課堂,探索和實踐課程教學(xué)的新模式。針對機(jī)械工程專業(yè),了解并掌握半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)的基本原理、方法和流程等相關(guān)知識,對提高學(xué)生的專業(yè)素養(yǎng)十分重要。(剩余7075字)
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