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一種可自動檢測宏觀缺陷的AOI設備設計探究

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摘  要：目前，TFT-LCD行業(yè)CF基板的微觀缺陷主要依靠AOI設備進行。AOI的原理是通過五點比對法自動對微觀缺陷進行鎖定;而基板的宏觀品質主要依靠Mura設備進行。Mura設備原理是通過鈉燈照射，CCD生成精度較低的基板灰度圖像，由作業(yè)人員人眼進行缺陷的檢測，這種宏觀檢測方法自動化低，依賴人力，準確率的穩(wěn)定性也很難保證。（剩余4656字）

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