一種新型的電容式角度位移測量儀

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關(guān)鍵詞 角度;位移;電容式傳感器;差動電容

電容式測量儀是將被測量（如尺寸、壓力等）的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的一種儀器。把被測的機(jī)械量，如位移、壓力等轉(zhuǎn)換為電容量變化。它的結(jié)構(gòu)簡單、分辨率高、動態(tài)特性好，而且能在高溫、強(qiáng)烈振動等條件下工作。電容式測量儀的輸出電容值一般十分微小，因此測量儀選擇借助差動脈寬電路，對于電容值進(jìn)行測量，將微小角度位移變化引起的電容值成比例地轉(zhuǎn)換成電壓信號[1-5]。（剩余795字）