邁克耳孫干涉儀中動(dòng)鏡微小位移量的測(cè)量方法研究

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關(guān)鍵詞 邁克耳孫干涉儀;微小位移;圖像處理;干涉測(cè)量術(shù);白光干涉

在很多領(lǐng)域，常涉及諸如微小位移、微小伸長量等這一類參量的測(cè)量問題，如壓電陶瓷在加端電壓下的微小伸展、物體在溫度變化下的微小伸縮、透明薄膜的微小厚度等。一般地，測(cè)量這類幾何量的方法主要有光杠桿法[1-3]光干涉法[4-8]，其中，光杠桿法采用的是放大測(cè)量法，即將被測(cè)的微小量先放大為一個(gè)宏觀量，進(jìn)而通過測(cè)出放大后的宏觀量由此達(dá)到測(cè)量微小量或微小變化量的目的，而光干涉法則是國內(nèi)外常用的高精度測(cè)量法，它通過引入干涉技術(shù)從而測(cè)出被測(cè)的物理量。（剩余2071字）