自吸式電化學(xué)檢測(cè)儀的研制與應(yīng)用

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【摘 要】為了滿足半導(dǎo)體行業(yè)制造過(guò)程中對(duì)NH3、HCl、C8H20O4Si、SiH4等電子特種氣體泄漏檢測(cè)的需要，設(shè)計(jì)了一種基于電化學(xué)傳感器的固定式氣體檢測(cè)儀。從硬件與軟件兩個(gè)方面詳細(xì)描述了該儀器的功能和特點(diǎn)。在半導(dǎo)體車(chē)間對(duì)儀器進(jìn)行了SiH4、NH3、C8H20O4Si標(biāo)氣檢測(cè)，結(jié)果顯示SiH4傳感器示值誤差小于 1%，重復(fù)性標(biāo)準(zhǔn)偏差小于1%;C8H20O4Si示值誤差小于1%，重復(fù)性標(biāo)準(zhǔn)偏差小于1%;NH3示值誤差小于 1.5% ，重復(fù)性標(biāo)準(zhǔn)偏差小于1%。（剩余5537字）