實現(xiàn)超導量子比特芯片的微納加工方法

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摘 要 近年來隨著各個科技強國和科技巨頭企業(yè)的高度重視，超導量子計算技術發(fā)展迅速，在不到10年的時間內(nèi)單個超導量子比特的退相干時間增長了5個數(shù)量級，從納秒提高到了百微秒的量級，并有望提高到毫秒量級甚至秒的量級。超導量子比特芯片的制備是實現(xiàn)超導量子計算的基礎，作為“物理前沿介紹———超導量子計算”系列的第六篇，本文系統(tǒng)闡述制備超導量子比特及其輔助器件芯片的微納加工方法，并對制備方法的發(fā)展趨勢作展望。（剩余15745字）