硅轉(zhuǎn)化:激光納米制造的新突破
最近,研究人員開(kāi)發(fā)了一種在硅材料內(nèi)部進(jìn)行納米制造的新技術(shù),可以建立特征尺寸低至100納米的埋入式納米結(jié)構(gòu)
最近,研究人員開(kāi)發(fā)了一種在硅材料內(nèi)部進(jìn)行納米制造的新技術(shù),可以建立特征尺寸低至100納米的埋入式納米結(jié)構(gòu)。通過(guò)利用空間調(diào)制的激光脈沖,在制造納米光子元件的過(guò)程中實(shí)現(xiàn)了前所未見(jiàn)的控制和精度,推動(dòng)了電子和光子學(xué)的重要發(fā)展。(剩余1331字)