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一種5倍暗場金相物鏡的設計

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摘  要：為解決現(xiàn)有5倍暗場金相物鏡照明亮度低且不均勻的問題，采用一體化設計新方法。首先通過選擇光學結構，在光學設計軟件ZEMAX中合理設置操作數(shù)，利用光學軟件設計優(yōu)化出光學系統(tǒng)；然后依據(jù)暗場照明約束條件設置反射光線，利用CAD軟件設計出反射曲面。通過光學傳遞函數(shù)、暗場照明光束利用率、光斑尺寸和光斑均勻度等參數(shù)對物鏡性能進行評價。（剩余6477字）

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