太赫茲超材料仿真設(shè)計(jì)與制備研究

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摘要：設(shè)計(jì)了一種在近紅外太赫茲波段產(chǎn)生電磁響應(yīng)的超材料器件，該器件單元結(jié)構(gòu)是由全對稱的金屬四開口諧振環(huán)與本征硅襯底組成。通過仿真模擬設(shè)計(jì)出合理的結(jié)構(gòu)與尺寸的金屬諧振環(huán)，達(dá)到想要的諧振效果。分析了表面電場強(qiáng)度與表面電流流向，以便了解電磁響應(yīng)機(jī)理。通過光刻剝離工藝制備出四開口超材料諧振環(huán)，并基于光泵浦探測系統(tǒng)研究了太赫茲光譜透射實(shí)驗(yàn)樣品后的光頻譜響應(yīng)特征。（剩余9720字）