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釕表面上錫及其氧化污染物的原位清洗研究

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摘 要： 本文介紹了在多層反射鏡釕表面原位清洗錫及其氧化污染物的實(shí)驗(yàn)研究. 實(shí)驗(yàn)通過物理氣相沉積（PVD）方法制備顆粒狀和薄膜狀錫及其氧化污染物，并采用朗繆爾探針和減速場離子能量分析儀（RFEA）對不同功率的氫等離子體進(jìn)行了系統(tǒng)分析. 對比顆粒狀和薄膜狀錫及其氧化污染物的清洗速率后發(fā)現(xiàn)，顆粒狀污染物（剩余2222字）

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