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MEMS陀螺發(fā)展綜述

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摘要： MEMS陀螺是基于微機械電子技術（Micro-Electro-Mechanical System， MEMS）開發(fā)的慣性傳感器。得益于體積小、成本低等優(yōu)點，MEMS陀螺被廣泛應用于航空航天、工業(yè)控制、消費電子等領域。為了研究MEMS陀螺性能與控制方法之間的關系，首先介紹了MEMS陀螺的工作原理和主要性能參數(shù)，然后綜合分析了MEMS陀螺發(fā)展的4個階段：開環(huán)陀螺、力平衡陀螺、全角陀螺和頻率調(diào)制陀螺，最終對MEMS陀螺未來技術發(fā)展趨勢進行了總結。（剩余7269字）

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