8英寸半導(dǎo)體廠房給排水系統(tǒng)設(shè)計(jì)工程實(shí)例分析

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摘  要：介紹半導(dǎo)體廠廠房給排水系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要點(diǎn)，該系統(tǒng)具有涉及面廣、系統(tǒng)相對(duì)分散且復(fù)雜的特點(diǎn)。并以某8英寸半導(dǎo)體集成電路制造生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目為例，介紹給排水系統(tǒng)的構(gòu)成，對(duì)部分設(shè)計(jì)工藝和參數(shù)做介紹。其中超純水采用雙RO的創(chuàng)新性工藝設(shè)計(jì)，不但能滿足車間生產(chǎn)需求，還大大降低工程造價(jià)成本。因此，該文認(rèn)為給排水設(shè)計(jì)是工業(yè)廠房設(shè)計(jì)中非常重要的部分，采用新型工藝設(shè)計(jì)能夠大大減少建設(shè)成本。（剩余4926字）