激光燒蝕反應(yīng)燒結(jié)碳化硅表面形貌特征及亞表面損傷研究

打開文本圖片集

摘 要：反應(yīng)燒結(jié)碳化硅（RB-SiC/Si）因具有耐高溫、耐腐蝕、比剛度高、熱膨脹小、耐磨等優(yōu)點(diǎn)而廣泛應(yīng)用于大口徑空間望遠(yuǎn)鏡、衛(wèi)星遙感、航空發(fā)動機(jī)零部件等領(lǐng)域。然而高強(qiáng)度高硬度的材料特性，也導(dǎo)致反應(yīng)燒結(jié)碳化硅呈現(xiàn)出難加工的特點(diǎn)。激光束加工具有能量密度高、加工范圍廣等特點(diǎn)，適用于加工硬脆材料，但同時也存在表面熱損傷嚴(yán)重的缺點(diǎn)。（剩余14309字）