應(yīng)用于數(shù)字光刻機(jī)的DMD數(shù)據(jù)處理及控制系統(tǒng)

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摘  要：無掩膜數(shù)字光刻機(jī)已在PCB光刻及半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域逐漸開始應(yīng)用，相比傳統(tǒng)掩膜式光刻機(jī)，可縮減光刻流程，節(jié)省光刻成本，使光刻數(shù)據(jù)在線實(shí)時(shí)調(diào)整變得更為簡單。而DMD（數(shù)字微鏡器件）目前作為數(shù)字光刻機(jī)常用的一種SLM（空間光調(diào)制）圖形發(fā)生器，對其所需要進(jìn)行的數(shù)據(jù)處理及控制較為關(guān)鍵。會(huì)直接關(guān)系到數(shù)字光刻機(jī)的曝光效率和產(chǎn)能。（剩余6785字）