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【摘 要】ITO靶材通常用于制作透明導(dǎo)電薄膜，是半導(dǎo)體光伏、LCD/OLED顯示器等領(lǐng)域不可或缺的原材料。文章綜合評述了ITO靶材制備技術(shù)現(xiàn)狀，介紹了其常規(guī)制備方法，如ITO納米粉體制備、成型技術(shù)、燒結(jié)技術(shù)、靶材綁定焊接技術(shù)等ITO靶材制備工藝，并分析了各工藝的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)，提出了高品質(zhì)ITO靶材制備技術(shù)的研究方向。（剩余5915字）
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ITO靶材制備的發(fā)展及現(xiàn)狀
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