基于微形變分析的電容式MEMS加速度計(jì)溫漂誤差精密估計(jì)方法

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摘  要：

針對(duì)傳統(tǒng)的電容式微機(jī)電系統(tǒng)（micro-electro-mechanical system， MEMS）加速度計(jì)（capacitive MEMS accelerometers， CMA）溫漂誤差（temperature drift error， TDE）補(bǔ)償方法存在非精準(zhǔn)溯源TDE致使TDE估計(jì)精度低、反復(fù)嘗試估計(jì)模型構(gòu)型導(dǎo)致構(gòu)建過(guò)程復(fù)雜繁瑣的問(wèn)題，提出基于微形變分析的CMA TDE精密補(bǔ)償方法。（剩余16544字）