原子制造過(guò)程的可視化與原位檢測(cè)

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摘 要：原子制造是指將能量直接作用于原子，對(duì)原子進(jìn)行精準(zhǔn)可控去除、增加等操作，從而調(diào)控材料結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的技術(shù)。為實(shí)現(xiàn)原子制造的精準(zhǔn)性和可控性，跨尺度的實(shí)時(shí)觀察與檢測(cè)勢(shì)在必行。原位透射電子顯微技術(shù)不僅能在原子尺度下實(shí)時(shí)研究納米材料結(jié)構(gòu)與性質(zhì)之間的關(guān)系，而且可以構(gòu)建原子級(jí)器件并實(shí)現(xiàn)其性能的原位檢測(cè)。簡(jiǎn)要綜述了原位透射電子顯微技術(shù)在納米／原子精度的加工、器件構(gòu)建及原位檢測(cè)方面取得的重要進(jìn)展，提出了當(dāng)前原位透射電子顯微技術(shù)在原子制造過(guò)程的可視化與原位檢測(cè)領(lǐng)域面臨的挑戰(zhàn)和未來(lái)的發(fā)展方向。（剩余10815字）