研磨盤運(yùn)動(dòng)特性對(duì)氮化硅陶瓷球成形影響性分析

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關(guān)鍵詞 氮化硅陶瓷球；柔性支承研磨；研磨盤偏擺；球直徑變動(dòng)量；批直徑變動(dòng)量

中圖分類號(hào) TG58; TG74 文獻(xiàn)標(biāo)志碼 A

文章編號(hào) 1006-852X（2023）06-0750-10

DOI 碼 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0012

收稿日期 2023-01-29 修回日期 2023-04-08

氮化硅陶瓷具有低密度、高強(qiáng)度、耐磨損、耐腐蝕、低熱膨脹系數(shù)、抗熱震性、絕緣、無磁等極優(yōu)良性能，是超精密儀器設(shè)備中高性能軸承滾動(dòng)體的理想制造原材料，廣泛應(yīng)用于航空航天、精密機(jī)床、電子、石油、化工等多個(gè)領(lǐng)域[1-4]。（剩余7072字）