多片式襯底HFCVD 系統(tǒng)沉積金剛石顆粒物理場的仿真優(yōu)化

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關(guān)鍵詞 熱絲化學(xué)氣相沉積法；FLUENT 仿真軟件；優(yōu)化模型；金剛石顆粒均勻生長

中圖分類號 TQ164 文獻(xiàn)標(biāo)志碼 A文章編號 1006-852X（2023）06-0735-08

DOI 碼 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0031

收稿日期 2023-02-20 修回日期 2023-03-19

金剛石微粉通常指粒度尺寸在0.1～54.0 μm 的金剛石顆粒，其主要用于工件表面的超精密光整加工?研磨及拋光工序中，也可直接制成研磨膏應(yīng)用于玻璃、陶瓷、寶石等硬脆材料中[1-2]。（剩余4597字）