基于性能監(jiān)測的聚合冷凝器結(jié)垢RUL預(yù)測

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摘 要 原子層沉積（ALD）設(shè)備被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、新材料、光伏產(chǎn)業(yè)中制備高質(zhì)量納米膜。針對制膜過程中關(guān)閉真空計，導(dǎo)致壓強(qiáng)數(shù)據(jù)缺失，無法判斷反應(yīng)源是否通入及設(shè)備是否正常運行的問題，采用軟測量方法預(yù)測制膜過程中的壓強(qiáng)。為提高軟測量對不同工藝條件及配方的預(yù)測泛化能力，提出采用基于滑動窗口的集成即時學(xué)習(xí)法（BaggingMwLWPLS）對壓強(qiáng)進(jìn)行實時建模及預(yù)測，使用滑動窗口劃分?jǐn)?shù)據(jù)集，采用Bagging集成算法將局部加權(quán)偏最小二乘法（LWPLS）的預(yù)測值平均融合作為預(yù)測壓強(qiáng)。（剩余10300字）