壓電陶瓷在精密超精密領(lǐng)域的應(yīng)用及發(fā)展

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摘 要 論述壓電陶瓷在高精度領(lǐng)域的不同應(yīng)用，包括壓電陶瓷對(duì)物體微小形變測(cè)量、壓電陶瓷作為傳感元件與諧振器結(jié)合應(yīng)用、壓電傳感技術(shù)在應(yīng)力測(cè)量領(lǐng)域應(yīng)用、壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)器在納米定位領(lǐng)域應(yīng)用、壓電陶瓷對(duì)材料構(gòu)件損傷識(shí)別、壓電陶瓷在無(wú)損檢測(cè)領(lǐng)域應(yīng)用、基于相移干涉法對(duì)三維表面微觀輪廓檢測(cè)等；描述壓電材料分類(lèi)以及特性；深度剖析壓電陶瓷在當(dāng)前科技發(fā)展階段不同工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用，分析目前研究中的難點(diǎn)，展望未來(lái)的研發(fā)方向。（剩余9730字）