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基于鎖定放大技術(shù)的真空度檢測系統(tǒng)

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摘  要： 針對中低真空環(huán)境真空度測量精度低的問題，在定溫電橋再平衡法的基礎(chǔ)上，提出一種交流定溫鎖定放大真空度檢測方法。定溫電橋的失調(diào)電壓信號經(jīng)過前置放大、帶通濾波后進(jìn)入相敏檢測環(huán)節(jié)，利用鎖定放大技術(shù)對采集到的失調(diào)電壓信號進(jìn)行處理。該方法能夠提高檢測系統(tǒng)的信噪比，使失調(diào)電壓的測量精度獲得提升。（剩余9045字）

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