用于甚低頻水聲信號(hào)檢測(cè)的電化學(xué)敏感單元設(shè)計(jì)

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摘  要：針對(duì)深海環(huán)境下對(duì)72 Hz以下甚低頻水聲信號(hào)的感知和探測(cè)需求，該文研制一種基于電化學(xué)換能原理和MEMS技術(shù)的電化學(xué)敏感單元。該電化學(xué)敏感單元包括MEMS敏感電極、有機(jī)玻璃制作的電化學(xué)反應(yīng)腔、膠膜和電解質(zhì)溶液等。采用MEMS技術(shù)和Pt-Pt倒裝鍵合技術(shù)在單晶硅襯底上完成MEMS敏感電極的加工和制作，采用螺紋緊固的方法完成電化學(xué)敏感單元的裝配。（剩余6744字）