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摘 要：文章介紹一種高分辨率的AlGaN/AlN/GaN金屬氧化物半導體——高電子遷移率晶體管（HEMT），并研究GaN MOS-HEMT生物傳感器對于葡萄糖生物標志物GOX（葡萄糖氧化酶）靈敏度檢測的可行性。與傳統(tǒng)用于葡萄糖檢測的生物傳感器進行對比發(fā)現(xiàn)，以HfO2作為柵極電解質，可以改善器件性能，增強 MOS-HEMT 器件的漏極電流，提升器件的靈敏度。（剩余5804字）
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GaN MOS-HEMT生物傳感器對于GOX的靈敏度檢測
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