乙酸改性γ-Al2O3高效去除痕量PCl3的研究

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摘要：在多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中，為了不影響產(chǎn)品性能，必須將雜質(zhì)PCl3的含量降低到ppb的水平，然而，這目前仍舊是一個(gè)巨大的挑戰(zhàn)。本研究提出了一種可高效去除痕量PC13的方法，即利用乙酸改性γ-Al2O3作為吸附劑，其可去除ppb級(jí)別的PC13，去除率高達(dá)84.2%。Boehm滴定實(shí)驗(yàn)表明，改性后的γ-Al2O3表面羧基含量大幅增加，從而增加了吸附PCl3的活性位點(diǎn)，使其對(duì)PCl3的吸附性能顯著提升。（剩余13383字）