基于有限元法的超聲輔助線鋸單晶硅表面粗糙度影響規(guī)律
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doi：10.3969/j.issn.2097-3853.2024.03.014
摘要： 為研究超聲振動(dòng)輔助切割單晶硅對硅片的表面粗糙度的影響，利用ABAQUS軟件建立單顆磨粒切割單晶硅的二維仿真模型，通過響應(yīng)面法（RSM）分析仿真數(shù)據(jù)，獲得單晶硅表面粗糙度與設(shè)定的線切割工藝參數(shù)之間的交互關(guān)系，研究單顆磨粒在不同工藝參數(shù)下對單晶硅表面粗糙度的影響。（剩余9741字）