基于正弦相位調(diào)制的光纖干涉位移測(cè)量系統(tǒng)研究

打開(kāi)文本圖片集

關(guān)鍵詞：光纖干涉儀；正弦相位調(diào)制；卡爾曼濾波；位移測(cè)量

中圖分類(lèi)號(hào)：TN 253 文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A

引言

在現(xiàn)代加工制造業(yè)中，精密的位移測(cè)量技術(shù)越來(lái)越重要。激光干涉測(cè)量法因具有可追溯、非接觸、高精度、高靈敏度等優(yōu)點(diǎn)，在航空航天、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體加工等智能制造領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用[1-4]。光纖激光干涉儀將光纖結(jié)構(gòu)和激光干涉相結(jié)合，相較于傳統(tǒng)的空間光干涉儀，其結(jié)構(gòu)緊湊靈活，環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)，光路易于調(diào)節(jié)，已經(jīng)成為當(dāng)前位移測(cè)量領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)之一[5]。（剩余3450字）