用于 MEMS 振鏡激光掃描的顯微物鏡設(shè)計(jì)

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摘要：為滿足微機(jī)電系統(tǒng)（micro-electro-mechanical system ，MEMS）二維激光掃描系統(tǒng)對顯微物鏡小入瞳直徑、大入射角度、大視場的要求，利用光學(xué)設(shè)計(jì)軟件Zemax設(shè)計(jì)了一款入瞳直徑為1.1 mm，可匹配 MEMS 二維振鏡±18°大掃描角度的近紅外無限共軛微型顯微物鏡。該物鏡總長小于23 mm，數(shù)值孔徑為0.4，分辨率為1.26μm，工作距為900μm，各項(xiàng)像差校正良好，滿足使用需求。（剩余7649字）