基于波像差理論的實(shí)數(shù)編碼遺傳算法優(yōu)化XUV 光學(xué)系統(tǒng)

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摘要：由鏡和光柵組成的 XUV 光學(xué)系統(tǒng)具有平面對(duì)稱的性質(zhì)，結(jié)合 Lu平面對(duì)稱光柵系統(tǒng)的波像差理論和均方根像差評(píng)價(jià)函數(shù)得到用以優(yōu)化 XUV 光學(xué)系統(tǒng)的多參量目標(biāo)函數(shù)。為求解該多自變量且大取值區(qū)間的目標(biāo)函數(shù)，提出了一種基于十進(jìn)制的實(shí)數(shù)編碼遺傳算法，并將其用于兩種 XUV 光學(xué)系統(tǒng)的優(yōu)化求值。將求得的優(yōu)化值用光學(xué)仿真軟件 Shadow進(jìn)行追跡，并和參考文獻(xiàn)進(jìn)行對(duì)比。（剩余12024字）