硅壓阻式壓力傳感器引線鍵合工藝研究

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關(guān)鍵詞：引線鍵合；引線形態(tài)；工藝參數(shù)

中圖分類(lèi)號(hào)：TP212；TH702 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A

0 引言

硅壓阻式壓力傳感器芯片與管腿通過(guò)引線鍵合相連接，其中引線形態(tài)對(duì)傳感器性能的影響較大。引線形態(tài)的形成主要通過(guò)鍵合機(jī)的既定程序，控制引線機(jī)頭帶動(dòng)引線劈刀進(jìn)行引線鍵合。鍵合機(jī)設(shè)定的程序通過(guò)調(diào)節(jié)不同的工藝參數(shù)，改變劈刀的運(yùn)行軌跡，得到所需要的引線形態(tài)[1]。（剩余2335字）