具有雙重顯影特性的多用途單分子樹(shù)脂化學(xué)放大光刻膠

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摘要 化學(xué)放大光刻膠（CARs）由于其在分辨率和靈敏度方面的出色性能而廣泛應(yīng)用于光刻領(lǐng)域。 本文報(bào)道了一種基于單分子樹(shù)脂的多用途化學(xué)放大光刻膠SP8-PAGAN，可同時(shí)用于365 nm光刻和電子束光刻。 該體系主要由螺二芴結(jié)構(gòu)的單分子樹(shù)脂主體材料（SP-8Boc）和N-（三氟甲基磺酸酯基）蒽-1，9-二羧酰亞胺非離子型光致產(chǎn)酸劑（PAGAn）組成。（剩余1438字）