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多線搖擺往復(fù)式線鋸切割藍(lán)寶石法向力試驗(yàn)研究

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摘要 多線搖擺往復(fù)式線鋸切割加工是目前將藍(lán)寶石晶棒切割成晶圓襯底的主要加工方法，加工過程中法向切割力是反映加工過程穩(wěn)定性的重要指標(biāo)。測量了多線搖擺往復(fù)式線鋸切割藍(lán)寶石晶棒過程中產(chǎn)生的法向力Fn，跟蹤了晶棒不同位置和不同切割深度下法向力的變化規(guī)律，以法向力變化幅值ΔFn 為指標(biāo)，探究各種工藝參數(shù)對(duì)加工過程穩(wěn)定性的影響。（剩余13533字）

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