摩爾定律是否會在粒子加速器中找到未來?
打開文本圖片集
直線加速器可為極紫外光刻技術(shù)提供強(qiáng)大的動力。
英特爾、三星、臺積電以及日本即將建造的先進(jìn)晶圓代工廠速芯(Rapidus)正各自為營,準(zhǔn)備在每平方毫米的硅片中塞入越來越多的晶體管,但這些企業(yè)有一個共同點:支撐它們開展研發(fā)制造的極紫外光刻技術(shù)(EUV)極其復(fù)雜、昂貴,且運(yùn)營成本極高。其主要原因在于,該系統(tǒng)所使用的13.5納米光源需要通過目前世界上最強(qiáng)大的商業(yè)激光器轟擊飛行中的熔融錫滴來產(chǎn)生,而后者要求高精度和高成本。(剩余4507字)