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考慮端部效應(yīng)的動子無源型Halbach磁懸浮永磁直線電機電磁力分析

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摘  要：

針對光刻機等高精確度定位平臺無摩擦、無接觸、無噪聲需求，提出一種采用動子無源型平移和懸浮一體化Halbach磁懸浮永磁直線電機以實現(xiàn)定位平臺的無摩擦懸浮及長距離定位運動。為了精確分析該類電機的懸浮力和推力特性，提出一種考慮動子永磁體端部效應(yīng)的電機磁場解析模型并采用傅里葉分解法得到Halbach陣列永磁體磁場解析式。（剩余15252字）

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