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光學(xué)元件微缺陷偏振檢測的圖像處理方法研究

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文章編號：1005-5630（2024）05-0024-07 DOI：10.3969/j.issn.1005-5630.202305100093

摘要：光學(xué)元件表面缺陷會嚴(yán)重影響到光學(xué)系統(tǒng)的性能指標(biāo)。現(xiàn)有的光學(xué)元件表面缺陷檢測技術(shù)存在檢測速度慢，精度低等問題?；诠鈱W(xué)元件微缺陷偏振檢測技術(shù)，研究了缺陷偏振成像的數(shù)字圖像處理方法。（剩余7570字）

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