基于空間光耦合系統(tǒng)的芯片溫度傳感器

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摘要：研究了一種硅光子芯片空間光耦合系統(tǒng)，簡(jiǎn)化了集成光子芯片用光纖陣列耦合的方式，通過將1550 nm 附近波段的光通過空間光學(xué)系統(tǒng)，經(jīng)光柵耦合器垂直耦合進(jìn)入集成光子芯片，經(jīng)過波導(dǎo)與微環(huán)諧振腔實(shí)現(xiàn)光學(xué)傳感，采用多模光纖收集出射能量，并進(jìn)行溫度傳感測(cè)試。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，用波長(zhǎng)探測(cè)方式，得到自由光譜范圍（FSR）為0.85 nm ，Q 值為16321的環(huán)形諧振腔直通端透射譜線。（剩余9519字）