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硅摻雜對AlN材料的影響研究

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文章編號1000-5269（2024）06-0014-05

DOI：10.15958/j.cnki.gdxbzrb.2024.06.03

摘要：近年來，對AlN材料的研究熱度居高不下，對AlN材料的制備日益成熟，但是對摻雜的研究大多數(shù)是理論方面，而有效地?fù)诫s是制備器件的前提之一。本文采用高溫?zé)釘U(kuò)散的方式對超寬禁帶材料AlN進(jìn)行N型摻雜實(shí)驗(yàn)研究。（剩余9109字）

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