共焦顯微鏡技術(shù)及其應(yīng)用
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摘要：共焦顯微測量是一種很有前景的技術(shù)，具有非接觸測量和高精度位移識別能力，廣泛應(yīng)用在芯片加工、高精密儀器制造、生物醫(yī)學(xué)、材料化學(xué)、工業(yè)檢測等領(lǐng)域。其沿軸向位置高精度掃描的二維圖像可用于三維重建，然而，掃描的速度限制了圖像的采集速率，為了克服這一局限性，研究人員提出了許多方法對傳統(tǒng)的共聚焦顯微鏡系統(tǒng)進(jìn)行了改進(jìn)。（剩余24689字）