半導(dǎo)體陶瓷零部件種類(lèi)及應(yīng)用

摘 要：隨著科技的進(jìn)步，手機(jī)、電腦、電動(dòng)汽車(chē)、機(jī)器人等智能產(chǎn)品融入到人們的生活中。這些產(chǎn)品中存在著大量的半導(dǎo)體芯片，制備芯片需要用到半導(dǎo)體設(shè)備，如刻蝕機(jī)、光刻機(jī)、離子注入機(jī)等。打開(kāi)半導(dǎo)體設(shè)備，里面大部分部件是陶瓷零部件，陶瓷零部件具有耐高溫、耐腐蝕、精度高、強(qiáng)度高等優(yōu)異性能，其可以很好地用在半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)。（剩余6223字）