微型機(jī)械電子系統(tǒng)(MEMS)行業(yè)競爭格局與發(fā)展趨勢 分析

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一、MEMS概述

MEMS實際上是微型機(jī)械電子系統(tǒng)的英文縮寫 （Micro Electromechanical System），通常是一系列尺寸 在毫米級別甚至以下的電子機(jī)械裝置，其內(nèi)部涉及的結(jié)構(gòu)通 常在微米甚至是納米級別，是利用微型電子技術(shù)構(gòu)建盡可 能小的智能系統(tǒng)。其生產(chǎn)加工通常是基于傳統(tǒng)加工半導(dǎo)體 元器件的光蝕刻等工藝，結(jié)合超高精密機(jī)械加工技術(shù)。（剩余4840字）