管式PECVD工藝對(duì)“SE+PERC”晶體硅太陽(yáng)電池鍍膜均勻性的影響及改善研究

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摘要：針對(duì)在“SE+PERC”晶體硅太陽(yáng)電池制備過(guò)程中，采用管式等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）工藝沉積正面鈍化介質(zhì)膜后，硅片正面會(huì)出現(xiàn)角部發(fā)紅色差，即鍍膜均勻性異常的問(wèn)題，通過(guò)實(shí)驗(yàn)，對(duì)硅片厚度、工器具狀態(tài)、背面膜層結(jié)構(gòu)、正面鈍化介質(zhì)膜沉積工藝等影響因素對(duì)硅片正面角部發(fā)紅色差的影響分別進(jìn)行分析和討論，并提出解決方案。（剩余10136字）