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摘 要:納米開關(guān)結(jié)構(gòu)是納米機(jī)電系統(tǒng)中的重要控制元件,基于表面能的模型引入表面效應(yīng),分析了表面效應(yīng)和分子間作用力同時對納米開關(guān)結(jié)構(gòu)線性彎曲行為的影響。對應(yīng)變能與表面能進(jìn)行變分,并通過最小勢能原理,推導(dǎo)出納米開關(guān)的控制方程以及邊界條件,并運用同倫攝動法來求解該非線性微分方程。通過計算結(jié)果具體分析了不同邊界條件下納米開關(guān)在考慮表面效應(yīng)和Casimir力作用下表面效應(yīng)對納米開關(guān)彎曲變形、吸合電壓的影響。(剩余12030字)
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表面效應(yīng)對納米開關(guān)結(jié)構(gòu)線性彎曲行為的影響
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