ASML遠(yuǎn)程鎖機(jī)：可能嗎?

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5月21日，彭博報(bào)道了ASML可以在中國(guó)臺(tái)灣省發(fā)生突發(fā)狀況時(shí)將臺(tái)積電工廠內(nèi)的先進(jìn)EUV進(jìn)行遠(yuǎn)程關(guān)機(jī)（remotely shut off）。這個(gè)遠(yuǎn)程關(guān)機(jī)到底如何實(shí)現(xiàn)是個(gè)挺有意思的問(wèn)題。

一般來(lái)說(shuō)，遠(yuǎn)程關(guān)機(jī)技術(shù)上可行，但實(shí)際這個(gè)問(wèn)題設(shè)備商自己跟Fab中的大部分工程師都不太清楚具體如何實(shí)現(xiàn)，因?yàn)橹两褚矝](méi)有哪個(gè)設(shè)備商有過(guò)如此操作。（剩余1576字）