飛秒激光與金剛石相互作用機(jī)理仿真和實(shí)驗(yàn)研究

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摘要：為了探究飛秒激光與金剛石的相互作用機(jī)理，本研究針對(duì)化學(xué)氣相沉積法制備的單晶金剛石，基于COMSOL Multiphysic仿真軟件，采用能量守恒公式和傅里葉熱傳導(dǎo)定理公式，建立基于溫度場(chǎng)的飛秒激光加工單晶金剛石仿真模型，研究激光平均功率、激光掃描速度、激光重復(fù)頻率和激光脈沖有效個(gè)數(shù)四個(gè)影響因素對(duì)金剛石流道寬度和深度形貌的影響規(guī)律。（剩余9503字）