濺射氣壓對銅基復(fù)合薄膜結(jié)合性能的影響

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摘      要：  采用直流磁控濺射的方式，在鍍有鎳層的銅箔基底上改變設(shè)備濺射氣壓分別沉積鉻、鈷、鈦薄膜，再用水電鍍在這三3種薄膜表面制備銅膜，對薄膜的表面能和結(jié)合力進(jìn)行研究，用達(dá)因法和萬能拉力儀進(jìn)行檢測。結(jié)果顯示表明：隨著濺射氣壓的增大，鉻薄膜的表面能先減小后增大，直到氣壓0.8 Pa時不再變化，鈷薄膜的表面能先增大后減小，兩種2種薄膜的表面能變化趨勢都在氣壓0.5 Pa時發(fā)生轉(zhuǎn)折，鈦薄膜的表面能一直保持不變。（剩余6626字）