四氟化鍺中痕量氣體雜質(zhì)的氣相色譜分析

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收稿日期： 2023-12-20

作者簡(jiǎn)介： 周紅艷（1974-），女，天津市人，高級(jí)工程師， 2000年畢業(yè)于蘭州大學(xué)化學(xué)專業(yè)，研究方向：化工轉(zhuǎn)化與分析技術(shù)。

通信作者： 姜  雪（1997-），女，朝鮮族，助理工程師，碩士，研究方向：化工轉(zhuǎn)化與分析技術(shù)。

摘      要：建立了氣相色譜法測(cè)定高純四氟化鍺中痕量氣體雜質(zhì)的方法，設(shè)計(jì)氣路切割過(guò)程并研制高密封性吹掃進(jìn)樣系統(tǒng)。（剩余7859字）