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脈沖激光沉積過程中TiO2等離子體狀態(tài)診斷及薄膜特性的研究

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摘要：脈沖激光沉積技術(shù)由于具有較高的沉積速率和良好的兼容性，已廣泛應(yīng)用于各種納米薄膜材料的制備.探究激光等離子體狀態(tài)與沉積薄膜特性之間的關(guān)系，有助于進一步調(diào)控與優(yōu)化脈沖激光技術(shù)對薄膜材料的沉積.本文將等離子體狀態(tài)診斷與沉積薄膜性能相結(jié)合，討論了不同脈沖激光能量下等離子體狀態(tài)對沉積薄膜性能的影響.結(jié)果（剩余11606字）

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